電感耦合等離子體質譜儀是一種高精度、高靈敏度的分析儀器，其工作原理基于電感耦合等離子體技術和質譜分析技術的結合。首先，通過霧化器將溶液樣品送入等離子體光源，在高溫下汽化并解離出離子化氣體。這些離子經過取樣錐進入低真空環境中形成分子束，再經過四極質譜分析器進行質量分離，最終到達離子探測器。根據探測器的計數與濃度的比例關系，可以測出元素的含量或同位素比值。
1、極低的檢出限：
ICP-MS能夠檢測到非常低濃度的元素，其檢出限通常可達到ng/ml甚至更低的水平。這使得它非常適合用于分析痕量元素，在地質、環境監測等領域具有重要意義。例如，在地質學中，對于巖石、礦石中的超痕量金屬元素以及某些鹵素元素、非金屬元素的測定，ICP-MS的高靈敏度能夠提供準確的結果。
2、基體效應小：
基體效應是指樣品中其他成分對目標元素分析結果的影響。ICP-MS的基體效應相對較小，這意味著即使在復雜的樣品基質中，也能夠準確地測定目標元素的含量，提高了分析的準確性和可靠性。
3、譜線簡單：
ICP-MS產生的質譜圖相對簡單，峰形尖銳且干擾較少。這使得在分析過程中更容易識別和定量各個元素，減少了分析誤差。
4、多元素同時測定能力：
可以同時測定多種元素，包括金屬元素和部分非金屬元素。一次分析即可獲取多個元素的信息，大大提高了分析效率，節省了時間和成本。
5、動態線性范圍寬：
能夠在較大的濃度范圍內保持準確測定，從極低濃度到較高濃度的元素都可以進行有效分析。這使得ICP-MS適用于不同濃度范圍的樣品分析，具有更廣泛的應用領域。
6、同位素比值測定精度高：
能夠精確地測定元素的同位素比值，這對于地質學研究、核科學研究等領域非常重要。通過同位素比值的分析，可以獲取有關樣品的來源、形成過程等信息。
7、分析速度快：
現代ICP-MS儀器具有較高的分析速度，能夠在短時間內完成大量樣品的分析。這對于需要快速獲取分析結果的應用場景非常有利，如環境監測中的應急檢測、工業生產中的在線監控等。
8、與其他技術聯用性強：
可以與高效液相色譜（HPLC）、氣相色譜（GC）、激光燒蝕進樣系統（LA）等多種技術聯用，進行元素的形態分析、分布特性研究等。這種聯用性拓展了ICP-MS的應用范圍，使其在復雜樣品的分析中更具優勢。
